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【48812】晶合集成取得发明专利授权:“一种半导体结构的制造的进程”
来源:米乐体育    发布时间:2024-04-23 17:36:06
产品介绍

  证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现晶合集成(688249)新取得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构的制造的进程”,专利申请号为CN4.0,授权日为2024年3月1日。

  专利摘要:本发明揭露了一种半导体结构的制造的进程,归于半导体技术领域。所述制造的进程包含:供给一衬底,所述衬底上设置有半导体器材的栅极结构,所述栅极结构杰出设置在所述衬底上;在所述栅极结构两边构成有侧墙结构,所述侧墙结构最外层为氮化层;对所述衬底进行氮化处理,在所述侧墙结构上构成富氮层;在所述衬底、所述侧墙结构和所述栅极结构上构成接连的触摸孔刻蚀中止层,所述触摸孔刻蚀中止层接近所述栅极结构顶部的一侧包含悬突部;在所述触摸孔刻蚀中止层上构成介质层;以及在所述介质层内构成多个金属衔接结构。经过本发明供给的一种半导体结构的制造的进程,可提高半导体结构的良率和可靠性。

  今年以来晶合集成新取得专利授权55个,较去年同期增加了111.54%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研制方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。

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